上海2013年3月14日電/美通社/--在下周即將舉行的SEMICONChina展會期間，中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微”）將正式發(fā)布多反應器金屬有機化合物氣相沉積設備（MOCVD），并首次進入半導體照明市場。PrismoD-Blue?MOCVD設備可以實現(xiàn)復雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結構的大批量生產(chǎn)，這些超薄層結構對于高亮度LED是必需的。中微的MOCVD設備不僅具有精準的參數(shù)控制、全自動化處理和獨特的緊湊設計等特點，而且擁有高生產(chǎn)率、高產(chǎn)能和低成本投入，是LED芯片制造過程中必不可少的新一代MOCVD設備。

目前，中微已有MOCVD設備在國內(nèi)一家著名的LED廠家運行。

硬件優(yōu)勢：中微具有自主知識產(chǎn)權的MOCVD設備可以容納多達4個反應器，每個反應器都可以獨立控制。這一創(chuàng)新設計可以實現(xiàn)卓越的生產(chǎn)靈活性。它也是該類設備中唯一帶有這一特性的產(chǎn)品，也就是說，中微的MOCVD設備可以以并行或者串行模式運行，這就減少了交叉污染，并且保證了晶體的高質(zhì)量，這是先進的LED器件所必需的。中微的MOCVD設備在占地面積上也有相當?shù)膬?yōu)勢，它比競爭者的單反應器機臺的占地面積小了近30%，因此，PrismoD-Blue對于目前的LED芯片生產(chǎn)線無疑是占地面積更小的絕佳選擇。

設備優(yōu)異，市場廣闊，時機成熟：進入半導體照明市場對于中微而言是水到渠成的一步。作為一個新興的創(chuàng)新領軍者，中微為全球半導體制造商提供了先進的工藝技術和設備。目前，中微已有超過200個刻蝕反應臺在亞洲16條國際領先的半導體生產(chǎn)線上運行。中微在硅技術上積累的豐富經(jīng)驗和工藝知識，以及它嚴謹?shù)难邪l(fā)協(xié)議和材料工程背景，造就了一系列半導體制造前端設備。現(xiàn)在，中微又將這些運用在了PrismoD-Blue的研發(fā)上。中微新的LED客戶還將受益于公司嚴格的供應商管理協(xié)議。

現(xiàn)在對于一個新的MOCVD設備制造商來說也是一個良好的發(fā)展時機，尤其對于研發(fā)和制造中心在上海的制造商來說。根據(jù)法國市場研究機構YoleDevelopment預測，到2017年，MOCVD設備的市場規(guī)模預計將達到43億美元。中國在全球制造業(yè)中仍將占主導地位。燈泡價格將下跌，LED照明將取代傳統(tǒng)白熾燈。燈泡變得更便宜，當然就意味著LED制造商能獲取的利潤更緊縮，這就使得設備制造商提高生產(chǎn)效率比以往任何時候都顯得尤為重要。中微的MOCVD設備具有極高的生產(chǎn)效率，在這樣的市場環(huán)境中則更顯其優(yōu)勢。

“進入半導體照明市場是公司發(fā)展策略中的一個重要組成部分，”中微資深副總裁兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說，“我們專業(yè)的MOCVD技術團隊建立了一個優(yōu)勢明顯、極具靈活性的MOCVD平臺，它具有其獨特創(chuàng)新性，可以解決復雜技術和生產(chǎn)方面帶來的挑戰(zhàn)。能夠為客戶提供高產(chǎn)能低成本的技術，用于他們先進的LED器件制造，對此我們感到非常興奮。”

PrismoD-Blue具有卓越的工藝性能和生產(chǎn)效率：中微的Prismo機臺可以同時加工216片2英寸晶圓。它的工藝能力還能延展到生長4英寸、6英寸和8英寸外延晶片。除了具有多反應器結構的優(yōu)點可以使其加工靈活性達到最大化以外，PrismoD-Blue在每個關鍵性能指標上的表現(xiàn)都十分出色。在馬拉松測試中，它表現(xiàn)出了優(yōu)異的片內(nèi)和片與片之間的均勻性以及很好的重復性。這些結果都是在整個外延晶片加工的過程中未作任何工藝參數(shù)調(diào)整而得出的。外延晶片加工的過程對于反應腔室表面的條件、化學氣體環(huán)境、溫度轉(zhuǎn)換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過程中，能達到持續(xù)的重復性確實有它獨到的一面。

在上述馬拉松測試中，PrismoD-Blue從未發(fā)生過任何異常中斷，中微通過對工藝參數(shù)現(xiàn)場實時的監(jiān)控實現(xiàn)了高可靠性。這種高可靠性還得益于一系列復雜的軟件程序、先進的傳輸模塊、流程自動化和控制技術。這些同樣也是使得中微的半導體前端加工設備被業(yè)界廣為認可的技術。

PrismoD-Blue還被進一步優(yōu)化以方便用戶更易操作與維護。這對于一個發(fā)展迅速并看重成本的LED芯片制造商來說是至關重要的。卓越的加工性能和正常可運行時間可以拉大服務之間的差距，而新穎的設計特點則能夠使得設備維護更加簡便易行。同時，自動化、可編程的維護程序使得反應腔開關操作更加安全、快捷、可預測并且不易出錯。

PrismoD-Blue目前已擁有100多項專*（包括授權和未授權專*）以保護其獨特的創(chuàng)新性。此外，它還遵循了半導體制造規(guī)則并完全符合SEMI標準。

關于中微半導體設備（上海）有限公司

中微公司致力于為全球芯片生產(chǎn)廠商和相關高科技領域的世界領先公司提供一系列高端的芯片生產(chǎn)設備。公司目前主要提供等離子體刻蝕設備和硅通孔（TSV）刻蝕設備，用于國際一線客戶22納米及以下的芯片加工制造。目前，中微已有200多個刻蝕反應臺在亞洲地區(qū)眾多國際領先的生產(chǎn)線上運行。